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随着微细加工行业的日益增长的需求,多种光刻技术也得到了发展,其中包括激光干涉纳米光刻技术。
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碳纳米管具有独特的力学、电学性能,并且是典型的一维量子线,被认为是构筑未来微纳电子器件的主要材料。
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The problems and tendency of developing nano-scale devices are analyzed.
分析了纳米器件研究发展中存在的问题和发展趋势。
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First-principles Studies and Designs of Nano Materials and Devices Based on Carbon
碳基纳米材料和器件的第一原理研究与设计
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纳米ZnO在光电子器件和微电子器件等领域具有广泛的应用前景,而目前纳米ZnO阵列粒度分布均匀性、高密度、结晶性能还达不到纳米ZnO阵列器件的要求。
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在利用Top-Down方式加工纳米电子器件和纳米光电子器件的研究中,纳米薄膜的制作和加工技术是一个关键环节。
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有机功能分子在金属表面的吸附与组装结构的研究对我们认识其物理、化学、分子电子学、非线性光学等特性都有非常重要的意义,也是自下而上构建纳米功能器件的重要途径。
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本文计算范围内碳纳米管的振动频率均在GHz以上,表明碳纳米管有望成为设计高频纳米器件的理想材料。(5)碳纳米管拉曼活性模态计算。
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本方向主要开展功能性纳米粉体、纳米杂化材料制备技术及一维纳米材料与器件的研究。
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寻找与微纳电子器件在尺度上相匹配的电源成为微纳电子器件进一步发展所面临的重要问题。
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Assembling carbon nanotubes on micro-structures is the key to fabricate nano devices.
碳纳米管在微结构上的组装是实现纳器件的关键。
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贵金属材料的介电参数是影响微纳米器件性能的关键因素,可以唯一地确定和表达材料的光学性质。
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以上结论对于研究复杂的纳米波导器件具有很大的指导作用,为全光纳米器件的研究提供了一定的试验依据。
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Is Moore law out of date since Nano electronic devices have been appeared?
纳电子器件出现后会使摩尔定律过时 吗 ?
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如何有效方便的制备出纳米结构是制备纳米电子器件的第一步,也是其关键所在。
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一个主要的研究方向是以碳纳米管为模块,采用自下而上的构筑方式制备纳电子器件(包括晶体管、传感器等)。
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研究微尺度热特性既是热科学向纵深发展的必然,也是提高微纳器件性能的关键因素之一。
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Ultra-shallow Junction Used in Nano Devices and Development of Related Ion-doping Techniques
纳米MOS器件中的超浅结和相关离子掺杂新技术的发展
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AFM针尖诱导氧化加工的Ti纳米氧化线,是基于Ti膜-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的Ti膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。
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在清华大学微纳器件和系统实验室制备了一种高性能的巨磁电阻(GMR)自旋阀。
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The Machining of Nano Metal Film Used in Nano Photoelectron Devices Fabrication
用于纳米光电子器件加工的纳米金属膜的制作
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微纳结构与器件制备技术是微纳米技术的重要基础,而激光微加工技术是这类制备技术的一个重要分支。
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隧穿二极管是一种很有前途的基于带隙工程的异质结构量子器件,其电流电压(I-V)曲线中所呈现的微分负阻特性能够用于开发多种不同的电路功能。
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石墨烯除了在纳米器件中具有潜在的用途外,它也是催化剂载体的优秀候选材料。
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